硅外延用三氯氢硅中总碳的测定专用气相色谱仪详细介绍

This method is suitable for determination of total carbon content of silicon epitaxy in trichlorosilane, determination range from 0.00005% to 0.005%.

XiangyingGC7990plus a gas chromatograph, the successful determination of the content of total carbon silicon which continued in trichlorosilane by the analysis of the Technology Co., Ltd. Tengzhou City Xiangying with satisfactory results.

      本方法适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。

本方法适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。

本方法规定了硅外延用三氯氢硅中总碳含量的气相色谱测定方法。

滕州市翔鹰分析技术有限公司采用XiangyingGC7990plus气相色谱仪，成功测定了硅外延用三氯氢硅中总碳含量，结果满意。